1炉子及控制柜外表面应经常擦拭，保持清洁干净，清理设备时应切断设备电源和压缩空气。

2炉内不干净或有灰尘时，不用丙酮或无水酒精浸湿过的绸布擦拭干净并使其干燥。

3 每月定期清理一次炉门内壁上的镁块。

4 长时间不使用炉子，再重新启用时应进行烘炉处理，温度达到620℃，真空度小于10-3Pa时保温一小时。

5 每班班前检查循环水池水量是否充足，否则应加冷却水。冷却水压力应大于0.1MPa，否则应检查水路过滤网是否堵塞。

6 每班班前检查压缩空气压力应大于0.5 MPa，否则应检查管路是否漏气，压力达到规定值才允许开炉。

7 焊接过程中应经常检查炉体、扩散泵、冷阱、除镁器及其它真空泵的外表温度，当温度过高时，应检查冷却水管路是否堵塞，并及时清理。

8密封部位的零部件拆装时，应用丙酮或无水酒精清洗，干燥后涂上真空脂再装上。

9电气控制系统的电接头应保持干净、紧固。每开炉前应检查各紧固电接头是否紧固。

10应经常检查炉子的绝缘电阻，其值不应小于100Ω，当小于100Ω时，要认真检查电热元件、绝缘件、电极与隔热屏的电阻等，及时排除故障后方可开炉。

11机械传动件按一般设备润滑要求，定期加油或换油。

12真空机组、阀门、可控硅调压器、仪器仪表等配套件均按出厂产品所带的使用说明书予以维修和保养。

13工件和夹具应是清洁、干燥的，防止水分及污物进入炉内。

14应停电维修。确需带电情况下维修时，须保证操作人员、维修人员及设备的安全。

15严格按照操作规程操作，不准随意揿动按钮，拨动开关，非经过正式培训人员严禁操作。

16真空炉的冷却水非常重要，故在整个工作期间不允许中断冷却水，当水泵损坏无法正常供水时应打开应急自来水开关保持冷却水不中断。

17 维持泵维护和保养

17.1经常注意油位，油位以泵正常运转时到油标中心为准。油位低于油标中心时应加油。

17.2换油期限按使用条件和能否满足性能要求等考虑，由用户酌情决定，一般新泵建议在100小时左右换油一次，待油中看不到黑色金属粉末后方可加长换油期限。

17.3泵油一般应采用SY1634-701号真空泵油，不可与煤油、汽油混合使用。

18滑阀泵维护和保养

18.1应经常注意油位及油的清洁，新泵工作150小时后换油一次，以后每2-3个月换油一次，如使用条件不好，真空度下降时，可以缩短换油时间。

18.2在寒冷地带，停车后须将冷却水套内的水全部排净，否则会使水套内的水结冰，破坏泵壳。

18.3如较多时间不使用时，则每隔7-10天开泵一次，开泵时间约一小时左右，以免泵内绣蚀。

19 罗茨泵维护和保养

19.1应经常保持泵房环境清洁干燥。

19.2应经常注意各部分润滑的情况，如发现润滑油不足时应及时补充，如发现润滑油不清洁时及时更换，新泵使用30-50小时应换油，以后可根据使用情况确定换油周期。

20 扩散泵维护和保养

20.1扩散泵工作过程中冷却水须保证畅通，停止加热后须保证泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。

20.2扩散泵停止工作时，泵内应保持真空状态，以免泵油劣化，被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。

20.3扩散泵如暂时不用，保管期间应保持真空状态，以免泵油污染和各零件腐蚀。并将冷却水套内的剩水吹净。

20.4扩散泵在长期工作后性能会逐渐变坏，应定期检修，泵油是否减少或氧化，按相应要求加油或更换处理。零件及泵腔先用航空汽油清洗，然后用丝绸蘸乙醚或丙酮进行擦洗，并置于80℃～100℃温度下烘干或用电吹风吹干。处理完后，按顺序进行装配，保持泵芯与泵底垂直与泵腔同心，各级喷嘴间隙要按原要求调整好。